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TEC溫控載物臺 半導(dǎo)體溫度控制載臺 TEC溫度穩(wěn)定載物臺
TEC溫控載物臺是建立在半導(dǎo)體制冷技術(shù)基礎(chǔ)上設(shè)計研發(fā)的集精密溫控和精密位移調(diào)整為一體的芯片載臺。
- 產(chǎn)品詳情
TEC溫控載物臺是建立在半導(dǎo)體制冷技術(shù)基礎(chǔ)上設(shè)計研發(fā)的集精密溫控和精密位移調(diào)整為一體的芯片載臺。載臺由我公司自主研發(fā)的精密手動位移臺構(gòu)成多維精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)，并內(nèi)嵌高可靠性半導(dǎo)體制冷芯片配合熱傳導(dǎo)性能ji佳紫銅或不銹鋼鋼臺面組成，臺面區(qū)域溫度均勻性好，溫差不大于0.2度，可為光、電及光電混合芯片耦合、封裝、測試等工藝環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定而高效的恒溫環(huán)境。
調(diào)節(jié)高精度高恒溫效果佳
傳熱效率高溫度均勻性好
體積小、無噪聲、無振動
既可制冷又可加熱溫控范圍寬
芯片固定可配夾持也可配真空吸附
名稱 | 型號 | 冷卻方式 | 調(diào)節(jié)維度 | 臺面 |
TEC溫控載物臺 | FTS-FAT01 | 水冷 | X、Y、R | 紫銅 |
臺面尺寸 | 40mm×40mm | 臺面材質(zhì) | 紫銅 |
X軸調(diào)整范圍 | ±6.5mm | X軸zui小刻度 | 10μm |
Y軸調(diào)整范圍 | ±6.5mm | Y軸zui小刻度 | 10μm |
R軸調(diào)整范圍 | 粗調(diào)360°，精調(diào)5° | R軸zui小刻度 | 粗調(diào)1°，精調(diào)5′ |
適用溫度范圍 | -20℃~100℃ | 溫度分布均勻性 | ≤0.2℃ |
TEC冷卻方式 | 水冷 | 芯片固定方式 | 真空吸附 |
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