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產(chǎn)品規(guī)格:電動六維調(diào)整架

產(chǎn)品型號:FS6702-6L、FS6702-6R

此調(diào)整架為復(fù)坦希公司標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格,訂購量1-100臺之間,可在當(dāng)日發(fā)貨。訂購量大于100臺,請聯(lián)系我們確認(rèn)貨期

  • 產(chǎn)品詳情

一. 電動六維調(diào)整架定義:

在XYZ軸直動3軸與θxθyθz軸移軸3軸上加入自動滑臺的組合??扇娇刂?,結(jié)構(gòu)對應(yīng)單芯光纖至光纖排到或光導(dǎo)波路及各種光學(xué)元件等所有裝置的自動耦光用途。光軸的上方空間空出,特別適合顯微鏡及探針接近用途的組合。

二. 型號表示方法:

1-2211301A51R61.jpg

三. 基本參數(shù):


X

Y

Z

θx

θy

θz

型號

FS6702-6L

FELP(GS)60-50X-P5

FELS(GS)60X-10ZF-P5

FETA-60A50NR-P5

FETM-40A40

FETA-60A100NR-P5


FS6702-6R

FELP(GS)60-50X-P5

FELS(GS)60X-10ZF-P5

FETA-60A50NR-P5

FETM-40A40

FETA-60A100NR-P5

行程

±25 mm

10 mm

±8.5°

±7°

±5°

臺面尺寸[mm]

60*80

60*60

60*60

/

60*60

厚度[mm]

30

55.5

25

25

25

旋轉(zhuǎn)中心高度

/

/

50±0.2 mm

40±0.1 mm

(擺動中心精度φ0.01mm以內(nèi))

100±0.2 mm

電機(jī)

PKP523N12B(東方馬達(dá))

驅(qū)動類型

滾珠絲杠

蝸輪蝸桿

滾珠絲杠

絲杠直徑[mm]

8

6

6

傳動比1:255

6

絲杠螺距[mm]

1

1

1


1

分辨率

0.1μm

≈0.00204°/≈0.00102°

(Full/Half)

約0.00282°/約0.00141°

≈0.00108°/≈0.00054°

(Full/Half)

定位精度

5μm(線性修正后,一般可控制在2um以內(nèi))

5μm (修正后)

/

/

/

重復(fù)定位精度

±0.5μm (一般測試結(jié)果是±0.3um)

±0.5μm

±0.005°(大部分實(shí)測±0.003°)

±0.01°

±0.005°(大部分實(shí)測±0.003°)

反向間隙

0.5(一般測試結(jié)果<0.3um)

0.5μm

0.005°(大部分實(shí)測0.003°)

小于0.02°

0.005°(一般實(shí)測0.003°)

直線度[μm]

5

/

/

/

/

平行度[μm]

20

/

/

/

/

驅(qū)動電流[A]

1.2

1.2

1.2

1.2

1.2

zui大速度

20 mm/s (測試過zui大速度40mm/s)

20 mm/s

21°/S

14°/S

11°/S

材料

SUS440C

鋁合金(黑色陽ji氧化)

SUS440C淬+黑鉻

鋁合金(黑色陽ji氧化)

負(fù)載[N]

49(5Kgf)

49(5Kgf)

19.6N(2.0Kgf)

49(5Kgf)


四. 外形尺寸圖:



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