晶圓芯片用UV解膠機(jī)(半導(dǎo)體芯片藍(lán)膜切割膜晶圓解膠機(jī))
來源: 發(fā)布日期 2022-10-14 15:20 瀏覽:
UV解膠機(jī)是一種可以將UV膜和切割膜膠帶間粘性消除的自動(dòng)化解膠設(shè)備。在半導(dǎo)體材料晶圓芯片的生產(chǎn)過程中,晶圓芯片劃片前,需要將晶圓芯片通過UV膜固定在框架上,在芯片劃片工藝結(jié)束后,再使用UV光源對(duì)固定住的晶圓芯片進(jìn)行照射,使UV膜粘性固化硬化,便于后面晶圓封裝工藝流程進(jìn)行。
UV解膠機(jī)具有哪些優(yōu)勢(shì)
現(xiàn)階段,UV解膠大多采用UV汞燈,但汞燈本身有紅外熱輻射產(chǎn)生,會(huì)對(duì)半導(dǎo)體芯片薄膜等熱敏感材料產(chǎn)生高溫破壞,而且固化效率不高,產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)無法**把控,不利于晶圓芯片等精密加工元器件使用;而UVLED解膠機(jī)屬于“冷光燈”,屬于低溫照射,被照射材料表面溫度上升不***過5℃,出光均勻,外形結(jié)構(gòu)緊湊,能耗低,是半導(dǎo)體行業(yè)理想型設(shè)備,相對(duì)于傳統(tǒng)UV汞燈,UVLED解膠機(jī)還具備使用壽命更久,綠色環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)。
UV解膠機(jī)的產(chǎn)品特征
1、整體機(jī)身小巧精致,合適用于6/8/10/12寸晶圓芯片解膠;
2、采用智能顯示屏控制,固化時(shí)間和光照強(qiáng)度可調(diào),操作簡單方便;
3、UV解膠機(jī)采用由下而上照射,方便晶圓芯片放置解膠工序;
4、屬于“冷光源”,無熱輻射影響,不會(huì)對(duì)晶圓芯片產(chǎn)生破壞;
5、使用時(shí)間長,是UV汞燈使用壽命的5-10倍左右,燈珠使用壽命在25000個(gè)小時(shí)以上;
6、無維修維護(hù)費(fèi)用,不用頻繁更換燈頭等耗材;
7、封閉式設(shè)計(jì),無紫外光源溢出,不會(huì)對(duì)人體產(chǎn)生危害;
UV解膠機(jī)適用哪些行業(yè)
UV解膠機(jī)不僅限于晶圓芯片封裝領(lǐng)域,還適用光學(xué)設(shè)備、LED、IC、半導(dǎo)體材料、集成電路芯片、半導(dǎo)體器件、夾層玻璃濾色片等UV膜脫膠,UV膠帶脫膠的應(yīng)用。
UV解膠機(jī)別名叫法
UV解膠機(jī)有很多叫法:半導(dǎo)體UV解膠機(jī)、UV膜黏性去除機(jī)、UV解膠機(jī)、半導(dǎo)體解膠機(jī)、UV膜解膠機(jī)、全自動(dòng)脫膠機(jī)、晶圓UV解膠機(jī)、UV膜解膠、半導(dǎo)體膠帶脫膠、UV膜脫膠、半導(dǎo)體UV解膠機(jī)、半導(dǎo)體封裝解膠機(jī)、LED封裝解膠機(jī)、LED芯片脫膜機(jī)、芯片脫膠機(jī)、晶圓脫膠機(jī)、UV膜脫機(jī)、UV膜硬化機(jī)、UV膜去除機(jī)、紫外線掩膜曝光機(jī)等。