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多維精密調(diào)整架坐標(biāo)解耦合

來(lái)源: 發(fā)布日期 2019-03-04 11:12 瀏覽:

裝調(diào)光學(xué)元器件的調(diào)整,實(shí)際上就是對(duì)其六個(gè)自由度中的幾個(gè)自由度進(jìn)行調(diào)整。
不同的光學(xué)調(diào)整架基本設(shè)計(jì)理念都是為了實(shí)現(xiàn)對(duì)一個(gè)或多個(gè)自由度進(jìn)行調(diào)整并保證調(diào)整精度。實(shí)驗(yàn)中,常用的是對(duì)光學(xué)元器件五個(gè)自由度進(jìn)行調(diào)整的五維調(diào)整架。
對(duì)于五維光學(xué)調(diào)整架,由于受系統(tǒng)安裝空間的限制、系統(tǒng)裝調(diào)狀態(tài)的要求、機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)難度以及加工工藝的限制,調(diào)整架的三維平移調(diào)整自由度之間無(wú)法做到兩兩正交;二維旋轉(zhuǎn)自由度的回轉(zhuǎn)中心和光學(xué)元器件的光學(xué)中心無(wú)法做到重合;因此在進(jìn)行五個(gè)自由度調(diào)整時(shí),各維調(diào)整量之間存在坐標(biāo)耦合,即調(diào)整其中的一維,會(huì)引起其它另一維甚至幾維的變動(dòng)。一般在光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)實(shí)驗(yàn)中,由于無(wú)法對(duì)各位置調(diào)整量之間的坐標(biāo)耦合關(guān)系進(jìn)行量化和補(bǔ)償校正,通常忽略坐標(biāo)耦合情況。但是,忽略坐標(biāo)耦合關(guān)系會(huì)造成實(shí)際機(jī)械調(diào)整量和光學(xué)調(diào)整量的期望值之間存在差異,因而,也影響光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)過(guò)程的收斂速度。

三維調(diào)整架